· R&D 지원사업

R&D 지원사업 · 2026-07-20 · 산업통상자원부와 대전테크노파크 공고

EUV 검사기 장비 기술 및 인프라 구축 기술지원

[EUV 검사기 장비 기술 및 인프라 구축 기술지원 핵심 요약]

반도체 핵심 기술의 국산화와 상용화를 앞당길 소중한 기회입니다.

글로벌 반도체 시장의 주도권을 쥐기 위한 EUV(극자외선) 기술의 중요성이 갈수록 커지고 있습니다.

핵심 정보

접수기간2026년 7월 20일(월) ~ 11월 20일(금) 18:00까지이며, 3개사 선정 시 상시모집이 조기 종료될 수 있습니다.
지원대상전국 EUV 소재·부품·장비 관련 중소·중견기업이 대상입니다.
지원규모전국 3개사 내외를 선정하며, 기업당 최대 1,500만 원(15,000천 원) 이내를 지원합니다.

수록 내용

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